국제반도체장비재료협회(SEMI)와 한국반도체산업협회(KSIA)가 공동 프로젝트로 SEMI EDA(Equipment Data Acquisition) 표준 4개의 한글본을 발간하였다. 이는 2013년부터 시작한 “글로벌 협력형 450mm 공정장비 개발 및 표준화 연구사업”의 일환으로 진행된 국제표준 한글화 사업으로, 지난해 SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계의 활용도가 높은 9개 표준 한글화 작업에 이은 두 번째 프로젝트이다. 

SEMI EDA는 2005년에 처음 만들어진 SEMI 소프트웨어표준으로써 2014년 현재까지 수 차례 개정를 거쳐 발전되어 왔다. 이는 1982년 반도체장비를 제어할 목적으로 개발된 반도체 전용 데이터 송수신 프로토콜인 SECS/GEM (SEMI Equipment Communication Standards/ Generic Equipment Message) 통신표준과는 달리, 반도체장비 데이터를 모니터링을 하는 것이 주된 목적이며, SECS/GEM보다 데이터 수집량이 많고, 속도가 빠른 것이 특징이다.

그런데 최근 반도체 공정이 점차 미세화 되고 웨이퍼 대구경화가 진행되는 과정에서, 공정의 안정화를 위해 엔지니어들은 기존에 반도체설비에서 수집된 데이터 보다 더 많은 양의 데이터와 더 빠른 수집주기를 필요로 하게 되었다. 이러한 변화로 인해 기존에 사용하는 SECS/GEM통신을 이용한 데이터 수집만으로는 한계가 있다는 의견이 점차 많아지고, 이에 대한 해결방안으로 EDA에 대한 관심이 높아지고 있다. 이미 해외 파운드리 및 여러 반도체 IC 메이커에서는 EDA를 적용하고 있다. 국내에서는 아직 EDA 활용이 활발하진 않지만, 많은 장비회사들이 EDA 적용을 준비중에 있다.

SEMI 한국 정보제어 표준 기술위원회 김형수 위원장에 따르면, “EDA가 현재 SECS/GEM만큼 보편적이진 않지만, 반도체 산업에서 대용량 데이터 활용에 대한 니즈가 커지면서 EDA에 대한 잠재력도 대두되고 있다”고 한다. 

이번에 출간된 EDA 한글본의 가장 큰 예상효과는 새로운 개념의 표준인 EDA를 국내 도입하는 과정에서 국내 엔지니어들이 좀 더 쉽고 편리하게 접할 수 있는 기회를 제공한다는 것이다. 이와 더불어 한국 SEMI 에서는 관련분야의 인적인프라 구축 지원을 위해 한글본을 활용한 EDA교육프로그램 기획도 고려 중에 있다. 또한 한글본 사용을 통해 영문을 그대로 사용했을 때 발생할 수 있는 오적용 사례를 예방하고, 빠른 이해를 도와 업무 생산성 및 편의성이 크게 향상될 것으로 기대하고 있다. 이러한 긍정적인 효과로, 향후에도 SEMI와 한국반도체산업협회는 기타 국제표준의 한글본 프로젝트를 꾸준히 진행할 예정이다.

이번에 한글본으로 발간된 EDA 표준 목록은, ▲E120 ?0414 Comment Equipment Model 사양(CEM), ▲E125 ? 0414 Equipment Self-Description 사양(EqSD), ▲E132 ? 0414 장비클라이언트 인증과 권한 부여에 대한 사양, ▲E134 ? 0414 데이터 수집 관리 사양이다.

SEMI 한국 정보 제어 표준 기술위원회란?
SEMI 한국 정보 제어 표준 기술위원회 (Information & Control Technical Committee Korea chapter) 활동은 2008년 시작되었으며, 국내 반도체제조사 (삼성전자, SK하이닉스), 국내외 장비사 (세메스, PSK,  ASM, TEL, KODI-S), 솔루션 제공사 (아이티 이노베이션, 미라콤, 코닉오토메이션, 비스텔)가 참여한다. SEMI 한국 정보 제어 표준 기술위원회는 북미, 일본, 유럽과 비교하여 반도체 소프트웨어 분야의 공급업체가 체인별로 균형있게 참여하고 있어서 그 가치가 상당히 높다고 평가받고 있으며, 국제 표준을 제정하는데 중요한 영향력을 행사하고 있다. 최근에는 장비간 통신표준의 핵심인 SEMI E5 (장비표준 커뮤니케이션 메시지내용) 와 E87(캐리어 관리 사양)에 국내 반도체산업계의 의견을 추가하여 개정에 성공한 바 있다. SEMI 한국 정보 제어 표준 기술위원회 참여는 한국SEMI(eshim@semi.org)를 통해 가능하다.