본 내용에서는 국내 진공로봇시장에서 이미 선보이고 있거나 출시를 앞두고 있는 제품들의 특징과 사양에 대해서 알아본다. 나온테크, 싸이맥스, 한국야스카와전기의 제품들을 중심으로 살펴보자.

(주)나온테크
반도체용 진공로봇 ‘VACTRA’

특징
·고 진공 환경 내에서 Wafer 이송에 적합한 고청정 Clean 로봇
·Single Arm, Dual 등 다양한 모델로 고객 요구 대응
·고속 Motion 제어로 Throuhput 향상
·고강성 및 Slim Arm 구조
·Absolute Encoder 적용
·충돌 감지 기능 적용으로 로봇 Damage 최소화 및 신뢰성 향상

나온테크가 올 상반기 발표한 반도체용 진공 로봇(VACTRA 시리즈)은 세미콘 코리아 2009에 EFEM 과 함께 전시 출품되었다.
나온테크는 반도체 전 공정의 CVD, 에처, 스퍼터 등과 같은 고진공 체임버 환경에서 웨이퍼를 이송시켜주는 핵심 모듈로 미국, 일본의 일부 회사에서 독점적으로 공급해왔다. 이번에 개발된 로봇은 웨이퍼 교체시간을 대폭 단축한 로봇으로 나온테크의 수년간 축적된 로봇 및 진공기술력을 과시한 것이다.

(주)싸이맥스
듀얼암 Type의 진공로봇 ‘NexT’

특징
·모듈화 : 표준 베이스, universal controller and plug-in arm
·유연성 : 간편한 구성 ; Drop-in compatibility with Brooks
·경제성 : Minimum 1/3 reduction in cost-of-ownership
·신뢰성 : > 1/3 less parts vs. other comparable products
·유효성 : 사전 유지 보수, 간편한 서비스 액세스
·성능 : Up to 40% throughput advantage over competition

‘NexT’ 로봇시스템은 싱글암, 듀얼암 및 Frog-leg Type(프로그 타입)에서 SCARA Type(스카라 타입)까지 포함하는 암과 구동축 등의 플렉시블 한 구성이 가능한 모듈화 된 Plug-in 특징을 가지고 있다. 듀얼암 구성의 경우, 하나의 축에 구성된 2개의 암들이 서로 독립적으로 움직임이 가능하여, 기존 모델들 대비 획기적으로 Throughput(이송속도 또는 웨이퍼 처리량)을 향상시킬 수 있다.

한국야스카와전기(주)
OLED용 진공로봇

특징
·OLED 제조 진공 환경에서 안정된 동작으로 운용
·각 10Kg, 20Kg, 65Kg 하중의 로봇 시리즈
·높은 처리량
·고강도 병령 링크로 구성된 로봇

 야스카와의 OLED용 진공로봇은 다양한 종류의 제품군을 가지고 있는 것이 특징이다. SEMISTAR-V10S/-V10D/-V20S/-V20D/-V65S/-V65D가 그것으로, 모델명에서 SEMISTAR는 YASKAWA의 범용 표준모델을 지칭하며, V는 Vacuum Robot, 10/20/65는 각각 대응 가능한 Payload(Kg)를 지칭하고, S, D는 Single Arm, Dual Arm을 지칭한다. 따라서 Payload 10/20/65의 Single Arm, Dual Arm제품을 가지고 있다.

각 모델은 고진공 환경에서 Extension, Rotation, Up/down의 3축 Motion이 가능하며, OLED, LCD 및 웨이퍼의 고진공 처리공정에 사용이 가능하다.