시마즈한국진공기기(주)(이하 시마즈한국진공기기)가 ‘SIMTOS 2018’에 참가해 시마즈제작소(Shimadzu Corporation)의 제품을 선보였다.

시마즈한국진공기기는 지난 2011년 설립돼 모기업 시마즈제작소의 ‘과학기술로 사회에 공헌하고, 인간과 지구의 건강에 대한 염원을 실현한다’라는 경영이념에 따라 제품을 공급하고 있다.

동사의 스퍼터(Sputter) ‘UHSP-T2040H’는 사출성형 한 플라스틱 제품에 진공 플라즈마 처리, 스퍼터링에 의한 금속막/금속 산화막 및 CVD에 의한 Si 산화막을 적층하는 성막 장치이다.

이 장치는 시마즈제작소의 독자적인 플라즈마 처리 기술과 1챔버 2프로세스로 일반적인 수지 계열의 플라스틱뿐만 아니라 PMMA(아크릴) 등 성막이 어려운 재질에도 높은 밀착성으로 막을 형성할 수 있다.

이외에도 시마즈한국진공기기는 터보분자펌프(TMP, Turbo Molecular Pump), 헬륨 리크 디텍터(Helium Leak Detector), 유압기어펌프(Hydraulic Gear Pump) 등을 반도체 및 FPD 제조 공정에 공급하고 있다.

한편 지난 4월 3일(화)부터 7일(토)까지 5일간 개최된 SIMTOS 2018에서는 세계 35개국 1,222개사가 6,010개 부스로 참가해 공작기계 및 자동화 관련 제품과 기술을 출품했다. 특히 5개 품목별 전문관에 1만여 점의 제품 및 기술이 출품됨에 따라 공작기계 및 자동화 관련 생산제조기술 전 분야의 트렌드 및 기술변화를 확인할 수 있었다.