S505 표면입자계수기 / 사진. 제덱스

반도체 표면·공기 입자 검출 전문기업 제덱스(JEDEX)가 SEMI 표준 E195에 대응하는 표면 입자 평가 솔루션 패키지 ‘S505 + DD Films’를 공식 발표하며 반도체 가치사슬 전반을 아우르는 통합 청정도 관리 시장 공략에 나선다고 밝혔다.

이번에 공개한 패키지는 반도체 체임버 핵심 부품(Critical Chamber Component, 이하 CCC)의 표면 청정도를 단일 기준으로 정량 평가할 수 있도록 설계된 솔루션이다. 반도체 제조장치사(OEM·IDM), 부품 세정사, 부품 제조사, 예방정비(PM) 서비스 사업자 등 가치사슬 전 단계에 동일한 측정 기준을 적용할 수 있는 것이 특징이다.

최근 선단 공정 미세화가 가속화되면서 체임버 핵심 부품 표면에 존재하는 미세 입자 하나도 반도체 수율에 직접적인 영향을 미치는 환경이 형성되고 있다. 이에 따라 반도체 업계는 표면 오염도를 정량 평가하기 위한 공식 기준으로 SEMI E195를 채택하고 있으며, 제조 가치사슬 전반에서 동일한 측정 체계와 데이터 표준화 요구가 확대되고 있다.

제덱스의 ‘S505 + DD Films’는 SEMI E195의 핵심 측정 방식인 ARS(Adhesive Replacement Substrate) 기반 비파괴 검사 방식을 단일 플랫폼에서 구현한다. 점착 필름을 부품 표면에 부착한 뒤 박리해 입자를 필름으로 전사하고, 이를 광학 장비로 정량 계수하는 방식으로 부품 분해나 세정 없이 표면 청정도를 측정할 수 있다.

패키지 핵심 장비인 ‘S505’는 5~5000㎛ 범위의 입자를 검출할 수 있으며, 5㎛ 입자 계수 효율 90% 이상을 지원한다. 또한 13×8mm 활성 계수 영역과 1~2초 수준의 빠른 측정 속도를 제공하며, 11kg 데스크톱 크기로 현장 적용성을 높였다.

함께 제공되는 DD 시리즈 입자 수집 필름은 제덱스의 자체 특허 기술이 적용된 제품이다. 표준 권장 모델인 ‘DD FAB-200HR’은 FAB 환경에 적합한 고점착·고청정 특성을 제공하며, 슬롯·홈·엣지 등 협소 부위에는 ‘DD-500HR’ 모델 적용이 가능하다.

또한 분석 소프트웨어 ‘MicroLabo Ver. 9.0.1’을 통해 멀티 레시피 관리와 입자별 상세 분석, 광학 테스트 기능을 지원하며, 측정 결과를 Excel 양식으로 즉시 출력할 수 있다.

제덱스는 DD 시리즈 필름과 관련해 한국·중국·EU·일본·미국·베트남 등 6개국 국제 특허를 확보하고 있으며, 안정적인 백그라운드 제어 기술을 기반으로 표면 청정도 평가 분야 경쟁력을 강화하고 있다.

이번 솔루션은 고객군별 활용 시나리오도 제시한다. OEM·IDM은 신규 CCC 부품 입고 검수 및 공정 불량 추적 체계 구축에 활용 가능하며, 세정사는 세정 전후 정량 비교 데이터를 통해 차별화된 출하 보고서를 제공할 수 있다.

부품 제조사는 1~2초 수준의 처리 속도를 기반으로 라인사이드 품질관리(QC) 운영이 가능하며, PM 서비스 사업자는 11kg 데스크톱 장비를 활용해 현장 및 PM 차량 단위에서 즉시 표면 청정도 점검을 수행할 수 있다.

제덱스는 향후 공기 중 입자 모니터링과 Critical Component 검사, 세정 솔루션까지 확장해 반도체 청정도 종합 관리 플랫폼 구축을 추진할 계획이다.