A. 트랜스퍼 로봇과 관련해 기존에 강세를 보였던 FPD 분야와 더불어 MECS社의 뛰어난 웨이퍼 이송로봇 기술력까지 더해져 반도체 로봇 분야에 있어서도 탄탄한 기술경쟁력을 보유하고 있다. 

A. 몇 가지 주목할 만한 신제품 라인업이 있었다. 그중에서도 얼라이먼트와 검사기능을 동시에 수행할 수 있는 얼라이너 ‘AIGIS’를 주목해야 한다.

기존의 반도체 공정에서 웨이퍼의 불량을 검출하는 검사 작업은 전적으로 후공정 시 진행됐다. 그러나 이번에 선보인 AIGIS OFH-4100i 시리즈는 얼라이먼트 과정에서 웨이퍼 엣지 결함을 검출해낼 수 있는 기능을 지니고 있다. 

웨이퍼 엣지의 ‘깨진 부분’과 ‘돌출된 부분’을 검출함으로써 웨이퍼 파손에 의한 장치의 다운타임을 막을 수 있고, 간략화된 웨이퍼 검사 기능으로 고비용의 검사 시스템 대신 손쉽게 장치에 작용할 수 있다. 이와 더불어 센터링 동작과 결함 검출을 동시에 실행할 수 있고, 웨이퍼의 검사 데이터는 시리얼I/F에서 호스트와 PC로 출력되어 결함의 원인을 규명할 수 있다. 또한 AIGIS 기능은 소프트웨어를 갱신함으로써 기존의 OFH-4000 시리즈에 추가할 수도 있다. 

300㎜ 웨이퍼 반송 로봇 ‘UTW-RSH5500’ 역시 주목할 로봇이다. 세계 최고 수준인 450WPH 스루풋을 달성했고, 기존 모델인 UTW-RS5500과의 호환성도 실현했다. 제어I/F도 공통으로 활용 가능해 대규모의 장치 개조 없이 간단하게 업그레이드가 가능하며 멀티 FOUP 액세스, 각종 센서 및 핸드 커스터마이즈 등 다양한 니즈에 유연하게 대응할 수 있는 풍부한 옵션도 갖추고 있다.

한편 3~4포트 대응 EFEM ‘오피유커스(Ophiuchus)’는 공정의 고속, 소형, 유연성을 개선하는 장비로, 업계 최고 레벨인 300WPH 스루풋을 달성해 장치의 포텐셜을 최대한으로 이끌어낸다. 더불어 불필요한 공간을 배제해 동일한 타사 제품군 대비 약 17%가량 콤팩트해져 효율적인 생산 라인 구축에 도움을 주며, 독자적인 기구를 가진 UTM-R3700F를 탑재함으로써 최대 1.6m의 고소 반송이 가능하다. 4포트 대응 가능한 저진동·슬라이드축이 없는 깔끔한 구조가 어우러져 여러 장치의 레이아웃에 유연한 대응이 가능한 점 또한 장점이다.

이미 FPD 분야에서 다이헨이라는 브랜드는 높은 아성을 구축하고 있었지만, 반도체 분야에서는 다이헨이라는 이름보다 MECS社의 브랜드네임이 더욱 높았다. 

그러나 최근 다이헨과 MECS의 기술력이 합쳐진 고유의 반도체 로봇 브랜드 ‘ACTRANS’를 부각시키고 있고, 이미 글로벌 시장에서는 다이헨의 반도체 로봇들이 유수 글로벌 기업에서 성과를 내고 있는 상황이다. 

이처럼 세계 시장에서 먼저 레퍼런스를 확보한다면 다이헨한국 역시 더욱 전략적으로 국내 고객들에게 다가갈 수 있을 것으로 예상된다.

A. 기본적으로 가격과 납기에 대한 요구가 중요하지만, 다이헨과 같은 외산장비의 경우에는 여기에 품질까지 요구된다. 이러한 부분을 해소하기 위해 많은 고민을 하고 있다.

제품이 판매되기 위해서는 Q(Quality), C(Cost), D(Delivery)가 중요하다. 다이헨한국의 경우 성능은 이미 충분히 검증받고 있는 상황이기 때문에 가격과 납기를 개선해나가고 있는 상황이다. 최근에는 엔저의 영향으로 가격 부분 역시 경쟁력을 가지고 있다.

또한 한편으로는 단순 로봇 제조를 넘어 장비업체들의 다양한 요구에 맞춰 시스템까지 공급하는 등 종합적으로 대응할 계획이다.

더불어 기존에 글로벌 시장에서 사용되고 있는 MECS社 로봇의 대체시장을 열어가며 다이헨의 반도체 로봇 브랜드 ACTRANS의 인지도를 높여갈 예정이다.

A. 점차적으로 세계시장에서부터 레퍼런스가 확보되고 있고, 이와 더불어 MECS 대신 ACTRANS라는 브랜드를 더욱 부각하고 있는 상황으로, 이미 그룹사차원에서 실적을 내기 시작한 만큼 본격적으로 한국시장에서도 발돋움하기 위해 노력할 것이다.

다이헨한국(주) www.daihen.co.kr