RIST, 나노윈과 체결식… 펄스 레이저 이용 오염물질 제거·소요시간도 단축

RIST와 나노윈이 RIST 포항 본사에서 ‘반도체 부품의 초고속 레이저 건식 세정 기술’ 이전 계약 체결식을 가졌다. 오른쪽에서 네 번째가 주상훈 RIST 경영지원부문장, 왼쪽에서 네 번째가 이회영 나노윈 대표이사.(포항산업과학연구원 제공)

포항산업과학연구원(RIST·원장 우종수)이 반도체용 금속 부품을 레이저를 활용해서 세정하는 혁신적인 건식 세정기술을 개발해 이를 중소기업에 이전하기로 했다.

RIST와 나노윈(대표이사 이회영)은 RIST 포항 본사에서 주상훈 RIST 경영지원부문장, 이회영 나노윈 대표이사를 포함한 임직원이 모인 가운데 ‘반도체 부품의 초고속 레이저 건식 세정 기술’ 의 이전 계약을 체결했다.

디스플레이와 반도체에 사용되는 금속 및 세라믹 부품은 재사용에 앞서 필수적으로 세정과정을 거쳐야 한다. 기존에는 강산 또는 강알칼리 시약을 사용한 화학적인 방법이 사용됐다.

이는 산세정·열처리·초음파 세정 등 여러 단계의 공정을 거치므로 공정 소요시간이 약 24시간으로 길고 불산·질산·황산 성분이 포함된 시약을 사용하기 때문에 폐수 처리와 같은 환경문제가 발생할 가능성이 있었다. 위험 물질 취급으로 인해 안전사고의 위험도 높았다.

RIST가 개발한 기술은 펄스 레이저를 이용해서 오염물질을 물리적으로 제거, 세정하는 방식으로 공정 소요시간을 2시간 내외로 대폭 단축했으며 화학약품을 사용하지 않아 환경문제와 안전사고 위험을 근본적으로 해결했다.

RIST는 이 기술을 다이오드, 트랜지스터 및 유사 반도체 소자 제조업체인 주식회사 나노윈에 향후 10년간 실시권을 부여하고 기술료 3억 원과 매출액의 5%를 받는 조건으로 기술 이전 계약을 체결했다.

최근 2년 동안 관련 기술을 개발한 박순홍 RIST 책임연구원은 “금속·세라믹 등 다양한 재질의 표면에 부착된 이물질을 재질의 손상없이 단기간 내 세정할 수 있어 국내 세정 관련 기술에 획기적인 변화를 줄 수 있을 것으로 기대된다.

이 기술을 통해 나노윈이 국내 2000억 원 규모에 달하는 세정시장에서 기술우위를 선점하고, 나아가 국가 IT 산업 기술경쟁력 향상에 기여할 수 있을 것”이라고 말했다.

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