호리바, 비접촉형 약액 농도 모니터 ‘CS-900F’ 출시
사진. 호리바 반도체 공정용 계측 장비 시장에서 약액 관리 기술 고도화 경쟁이 이어지는 가운데, 호리바 어드밴스드 테크노가 비접촉형 측정 방식과 소형화를 결합한 신제품을 선보였다. HORIBA 그룹 계열사인 호리바 어드밴스드 테크노는 3월 26일(목) 광섬유식 비접촉형 약액 농도 모니터 ‘CS-900F’를 출시했다고 밝혔다. ‘CS’ 시리즈는 반도체 웨이퍼 세정 및 에칭 공정에서 사용되는 약액의 농도를 측정하는 장비로, 1995년 첫 출시 이후 고객 요구에 맞춰 지속적으로 발전해 왔다. 이번 신제품은 기존 시리즈의 기술력을 기반으로 측정 안정성과 장비 소형화를 동시에 구현한 것이 특징이다. 신제품 CS-900F는 배관에 장착하는 방식으로 약액과 직접 접촉하지 않고 농도를 측정할 수 있어, 약액 누출 및 오염 위험을 줄이는 데 기여한다. 특히 반도체 공정에서 요구되는 고순도 환경 유지에 적합한 솔루션으로 평가된다. 또한 광섬유 케이블을 적용해 분광기를 메인 유닛으로 분리함으로써, 장치 내부에 설치되는 셀 유닛의 부피를 기존 대비 약 60% 줄였다. 이를 통해 장비의 설치 공간을 대폭 절감하면서도 공정 내 장비 배치 효율을 높일 수 있다. 이와 함께 내부 레퍼런스 메커니즘을 탑재해 진동 등 외부 환경 영향을 최소화하고, 높은 측정 정확도를 유지할 수 있도록 설계됐다. 소형화와 안정성이라는 두 가지 요소를 동시에 확보한 것이 핵심 경쟁력이다. 측정 가능한 약액 범위도 확대됐다. CS-900F는 최대 80℃의 고온 약액을 포함해 다양한 화학 용액을 측정할 수 있으며, 파장 영역대를 기존 대비 3배 확대해 대응 가능한 약액 종류를 크게 늘렸다. 이에 따라 SC-1(암모니아-과산화수소 용액), 질산, 인산, 초산 혼합액 등 복잡하고 위험도가 높은 약액도 전처리 없이 직접 측정할 수 있다. 호리바 어드밴스드 테크노는 반도체 제조 공정에서 약액 관리는 웨이퍼 표면 처리 균일성과 수율에 직결되는 핵심 요소라며, 비접촉식 측정 기술을 통해 보다 안전하고 정밀한 공정 운영이 가능할 것으로 기대하고 있다. 이번 제품은 2019년 출시된 비접촉형 약액 농도 모니터 CS-900을 기반으로 개발된 후속 모델로, 반도체 장비의 설치 공간 축소 요구에 대응하기 위해 광섬유 방식을 새롭게 적용했다. 회사 측은 약 30년에 걸쳐 축적된 계측 기술을 바탕으로 반도체 산업의 고도화 요구에 지속 대응해 나갈 방침이다.
포스코퓨처엠, 무음극 리튬메탈 배터리 공동개발
무음극 리튬메탈 배터리 기술 공동개발을 위한 업무협약 체결식 / 사진. 포스코퓨처엠 포스코퓨처엠이 금호석유화학, BEI와 손잡고 차세대 배터리 기술 개발에 나서며 글로벌 고성능 배터리 시장 선점에 속도를 낸다. 포스코퓨처엠은 지난 3월 25일(수) 서울 포스코센터에서 금호석유화학, BEI와 ‘무음극 리튬메탈 배터리’ 공동개발을 위한 업무협약(MOU)을 체결했다고 밝혔다. 이번 협약은 포스코그룹이 추진 중인 차세대 배터리 소재 및 기술 경쟁력 강화 전략의 일환으로, 세 기업이 보유한 소재·공정·셀 제조 역량을 결집해 고성능 배터리 개발을 본격화하는 데 목적이 있다. 세 회사가 개발하는 무음극 리튬메탈 배터리는 기존 리튬이온 배터리와 달리 음극재를 사용하지 않는 구조가 특징이다. 음극재가 차지하던 공간을 제거해 에너지밀도를 30~50%까지 높일 수 있으며, 충전 시 양극에서 나온 리튬이온이 별도의 음극재를 거치지 않고 금속 집전체 표면에 직접 도금되는 방식으로 작동한다. 이에 따라 충전 속도는 기존 대비 2배 이상 향상되는 것이 특징이다. 또한 기존 생산설비를 그대로 활용할 수 있어 신규 투자 부담을 줄일 수 있으며, 공정 단계 축소를 통해 제조 비용 절감 효과도 기대된다. 이번 협력에서 포스코퓨처엠은 무음극 구조에 최적화된 양극재 기술을 기반으로 배터리 성능 향상을 주도한다. 금호석유화학은 전자 이동을 촉진하는 고기능성 탄소나노튜브(CNT)를 적용해 충전 속도와 수명 개선에 기여하며, BEI는 소재 기술을 실제 배터리셀로 구현하는 제조 기술과 공정 노하우를 담당한다. 특히 탄소나노튜브는 전기전도성이 뛰어난 나노 소재로, 배터리 내부에서 전자의 이동을 원활하게 만들어 출력 특성과 수명을 동시에 개선하는 핵심 소재로 평가된다. 포스코퓨처엠 홍영준 연구소장은 “기술로 업계를 선도하는 3사가 차세대 배터리 개발에 협력하는 의미 있는 자리”라며 “시장의 판도를 바꿀 차세대 배터리라는 결실을 맺을 수 있도록 연구개발 역량을 결집할 것”이라고 말했다. 세 회사는 향후 공동개발 성과를 기반으로 드론, 로보틱스, 항공모빌리티 등 고성능·경량 배터리가 요구되는 신규 시장을 타깃으로 사업화를 검토할 계획이다. 아울러 소재부터 셀 제조까지 이어지는 밸류체인을 기반으로 글로벌 배터리 산업에서 경쟁력을 강화한다는 전략이다.
Denodo, Snowflake 및 업계 선도 기업들과 함께 데이터·AI 상호운용성 강화
신뢰할 수 있는 AI 에이전트와 애플리케이션을 지원하는 글로벌 데이터 관리 선도 기업 Denodo가 모든 기업이 분산된 데이터 정의를 표준화할 수 있도록 개방형 벤더 중립 의미 모델 규격을 제공하는 오픈소스 이니셔티브 ‘Open Semantic Interchange(OSI)’에 참여한다고 발표했다. OSI는 AI 및 BI 도구의 도입을 가속화, 운영을 간소화, 복잡성을 줄이는데 기여 / 사진. Denodo OSI는 다양한 도구와 플랫폼 간 상호운용성을 강화하는 것을 목표로 하며, 기업에 대시보드, 노트북, 머신러닝 모델 전반에서 일관된 지표와 정의를 제공하는 벤더 중립 규격을 제시한다. OSI는 AI 데이터 클라우드 기업인 Snowflake와 비즈니스 인텔리전스(BI), 데이터 거버넌스, 데이터 엔지니어링, AI, 금융 서비스, 제조 등 다양한 분야의 파트너들이 주도하는 오픈소스 이니셔티브다. 이 이니셔티브의 목표는 의미 메타데이터를 표준화된 개방형 형식으로 정의하는 공통의 벤더 중립 규격을 구축하는 것이다. 의미 메타데이터의 원활한 교환을 지원함으로써 OSI는 AI 및 BI 도구의 도입을 가속화하고 운영을 간소화하며 복잡성을 줄이는 데 기여한다. 이를 통해 기업들은 데이터 정의를 통합할 수 있고, 보다 포괄적이고 정확한 데이터 분석과 데이터 제품 공유를 가능하게 해 AI 혁신을 촉진할 수 있다. Denodo의 전략적 제휴 담당 이기준(Kijoon Lee) 부사장은 “범용적이고 벤더 중립적인 의미 표준은 기업이 혁신을 가속화하고 AI 및 분석을 통해 더 큰 비즈니스 가치를 창출하는 데 필수적”이라며 “OSI에 참여해 Snowflake 및 업계 선도 기업들과 함께 차세대 의미 표준을 정의하게 돼 기쁘다”고 말했다. 이어 “OSI를 통해 Denodo는 하이브리드, 멀티클라우드, 데이터 주권 환경 전반에서 신뢰할 수 있는 비즈니스 맥락과 운영 데이터에 대한 실시간 접근을 제공하는 자사의 의미 계층과 다른 의미 기술 간 상호운용성을 구현함으로써 고객이 측정 가능한 비즈니스 성과를 달성하도록 지원할 것”이라고 덧붙였다. Denodo는 OSI의 일원으로서 의미 모델 공유를 위한 투명하고 커뮤니티 중심의 표준 구축에 기여하고 있으며, 이를 통해 비즈니스 지표와 정의가 일관성과 상호운용성을 유지하도록 지원하고 있다. Snowflake의 분석 제품 관리 책임자 조시 클라(Josh Klahr)는 “데이터와 AI의 잠재력을 온전히 실현하기 위해서는 공통의 기반이 필요하며, OSI는 그 토대를 구축하는 데 있어 핵심적인 단계”라며 “Denodo와 같은 파트너들과의 협력을 통해 의미 데이터에 대한 통합된 벤더 중립 표준을 마련함으로써 전체 생태계 전반에 걸쳐 명확성과 일관성을 확보할 수 있다”고 말했다. 이어 “이 이니셔티브는 데이터 운영을 단순화하고 혁신을 촉진하며, 차세대 AI 애플리케이션을 구축하려는 기업들을 준비시키는 데 필수적”이라고 덧붙였다. OSI는 투명하고 커뮤니티 중심의 표준을 제공함으로써 데이터 및 AI 생태계 내 상호운용성을 혁신할 것으로 기대된다. 이러한 협력적 노력은 데이터 운영을 간소화하고, 새로운 혁신 기회를 창출하며, 기업이 미래 지향적인 데이터 인프라를 구축하는 데 필요한 유연성과 효율성을 제공한다.