사진. 제올

제올(JEOL)이 신형 탁상형 주사전자현미경(이하 SEM) ‘JCM-7000Plus NeoScope’를 개발하고 지난 9월 1일(화)부터 판매를 시작했다. 탁상형 SEM은 전기·전자, 자동차·기계, 철강 및 금속, 화학·의약품 등 다양한 분야에서 활용되고 있으며 연구개발뿐만 아니라 품질관리와 제품검사 등 제조 현장에서도 사용되고 있다. 중·고등학교와 대학교 등 교육 현장에서도 도입이 확대되면서 관찰 장비에 요구되는 기능과 사용 환경 역시 다양해지고 있다.

제올은 이러한 시장 요구에 대응해 신제품의 착지 전압(가속 전압)을 최대 20㎸까지 확장했다. 이를 통해 이차 전자상(SE image)의 해상도를 6㎚, 후방 산란 전자상(BSE image)의 해상도를 8nm까지 향상시켰으며, 높은 배율에서 보다 정밀한 관찰과 측정이 가능하도록 했다.

또한 화질 향상을 위해 후방 산란 전자 검출기를 개선했다. 이를 통해 기존 탁상형 SEM이 제공하던 사용 편의성을 유지하면서 관찰 및 분석 성능을 높이는 데 초점을 맞췄다.

소프트웨어 측면에서는 기존 JCM-7000의 직관적이고 사용자 친화적인 그래픽 사용자 인터페이스(GUI)를 유지했다. 광학 이미지에서 SEM 관찰로 자연스럽게 전환할 수 있는 ‘제로매그(Zeromag)’와 관찰 중 실시간 원소 분석을 지원하는 ‘라이브 어낼리시스(Live Analysis)’ 기능도 이어간다.

여기에 한층 강화된 자동화 기능인 ‘네오 액션(Neo Action)’을 새롭게 추가했다. 사용자가 복잡한 작업을 직접 수행해야 하는 부담을 줄이고 보다 직관적인 조작이 가능하도록 한 것이 특징이다.

기존의 실시간 기능인 ‘라이브 어낼리시스’, ‘라이브 맵(Live Map)’, ‘라이브 3D(Live 3D)’에 더해 ‘라이브 파티클(Live Particle)’도 새롭게 제공한다. 라이브 파티클은 관찰 중 입자의 크기와 개수를 실시간으로 자동 측정하는 기능으로, 반복적인 측정 작업을 간소화하고 분석 과정의 효율성을 높일 수 있다.

제올은 데이터 취득과 보고서 작성 과정의 효율성을 높이기 위해 ‘라이브 리포트(Live Report)’ 기능도 추가했다. 이 기능은 최고급형 전계방출형 SEM(FE-SEM)에서 제공되던 기능으로, 시야를 이동하면서 데이터를 자동으로 취득하고 보고서를 생성할 수 있다.

이에 따라 여러 영역을 순차적으로 관찰하면서 데이터를 취득해야 하는 작업을 보다 효율적으로 수행할 수 있으며, 취득한 데이터를 기반으로 보고서를 생성하는 과정도 간소화할 수 있다. 제올은 라이브 파티클과 라이브 리포트를 비롯한 새로운 기능을 통해 일상적인 관찰·분석 작업을 단순화하고 사용자의 분석 워크플로를 지원한다.