반도체 리소그래피 광원 주요 제조업체인 기가포톤 주식회사(본사: 토치기현 오야마시, 대표이사 사장: 우라나카 카츠미)가 현재 개발중인 EUV 스캐너용 레이저 생성 플라즈마(LPP) 광원에 대해 최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원주에서 양산 실현 레벨인 가동률(availability) 80% 이상의 가능성을 확인했다고 발표했다. 

기가포톤은 올 봄, 현재 개발 검증 중인 EUV 파일럿 광원에서 모형 집광 미러를 탑재한 모의시험을 2주에 걸쳐 실시한 결과 가동률(availability) 64％라는 결과를 얻었다. 파일럿 광원의 자세한 동작 상황은 가동·대기시간 64%, 휴일·야간 등으로 인한 정지시간 25%, 기타 유지보수 등으로 인한 정지시간 11%였으며, 이는 휴일, 야간 등에도 정지하지 않고 가동시켰다고 가정하면 가동률(availability) 80% 이상과 동등하다고 할 수 있다. 

기가포톤 대표이사 부사장 겸 CTO인 미조구치 하카루는 “최첨단 반도체 양산 라인에서의 가동을 상정한 파일럿 광원으로 가동률 80% 이상의 가능성을 확인한 것은 EUV 광원의 시장 도입이 조금 더 가까워졌다는 것을 시사한다. 기가포톤은 지속적으로 양산을 실현하기 위해 고가동·고신뢰성을 실현할 EUV 광원을 개발하겠다”고 말했다. 

주) 기가포톤이 EUV 리소그래피 양산 공장 대응 사양으로 설계한 광원. 별칭 ‘고출력 실증기’ 
*이 건은 국립연구개발법인 신에너지·산업기술종합개발기구(NEDO)의 조성 프로그램 성과를 활용했다.